同样原理，对于大口径的干涉仪，300mm，600mm，或800mm口径，为了得到高精度高分辨率结果，也需要移相过程。然而对于600mm，800mm口径而言，压电陶瓷很难长期稳定，精确地推动极其沉重的大口径标准镜和相关机械架构。

于是，ZYGO另辟蹊径，研发了波长调制移相技术，以改变光源波长的方式调制相位差，整个移相过程不再需要物理移动干涉腔。

如上图，机械移相方式通过改变干涉腔物理长度，调制相位大小。无论干涉腔长的长短，机械移相方式都移动同样的距离以完成相位调制。而波长调制方式根据干涉腔长，以及需要调制的相位大小，得到每步移相需要改变波长的大小。不同的腔长，调制相位需要改变波长的多少是不一样的。

在实际使用过程中，ZYGO波长调制激光干涉仪可以在自动检测当前腔长，以便精确移相。在波长调制方式下，再也不用担心大口径压电陶瓷推动的可靠性。在ZYGO 12英寸300mm立式高精度干涉仪上，可以安装使用12寸的球面标准镜。如图，因为12英寸球面标准镜重量很大，这里也需要波长调制方式。

波长调制方式的好处，不仅仅在于解决大口径压电陶瓷稳定推动的问题。测试前后面非常平行的平面样品时，前后表面会产生自干涉，也会分别与镜头标准面产生干涉，于是就形成了如图的多组干涉条纹的干涉图。这样“纷乱复杂”的条纹图，机械移相式采样方式是无法处理的。但波长调制方式却可以完美地“分辨”。

从上式可以看出，波长调制时波长变化一个固定值；相位调制的大小随着腔长的增大而增大。这意味着，随着波长变化，长干涉腔与短干涉腔相比，相位变化更快，其光强信号黑白周期变化“频率更高”。这样，通过对光强信号基于时间的频域分析，就可以完美的“分辨”不同腔长的干涉信号了。

ZYGO MST（Multiple Surface Test）波长调制技术，基于633nm，1um激光波长的干涉仪，可以做到良好分辨1mm光程厚度平行表面的多组条纹。一次采样，就可以得到前表面，后表面，厚度分布等等信息。

ZYGO将参展于2019年11月13-15日，在武汉·中国光谷科技会展中心举行的第十六届“中国光谷”国际光电子博览会暨论坛（OVC EXPO 2019），欢迎各位行业同仁届时来到现场，开展更多技术交流。